关于扩散炉的介绍（扩散炉）

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1、基本结构扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。

2、系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。

3、柜子的下部装有控制电路转接板及净化用风机。

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